- Код статьи
- 10.31857/S0424857024090056-1
- DOI
- 10.31857/S0424857024090056
- Тип публикации
- Статья
- Статус публикации
- Опубликовано
- Авторы
- Том/ Выпуск
- Том 60 / Номер выпуска 9
- Страницы
- 636-647
- Аннотация
- В работе сравниваются характеристики твердотельных тонкопленочных литий-ионных аккумуляторов со структурой Ti/Анод/LiPON/LiCoO2/Ti и безанодного варианта Ti/LiPON/LiCoO2/Ti. В качестве анодов использовались композит Si@O@Al толщиной 154 и 15 нм, а также предварительно литированный композит LixSi@O@Al толщиной 192 нм. В “безанодном” варианте литиевый анод формировался методом in situ. Аккумуляторы с анодами Si@O@Al толщиной 154 нм и LixSi@O@Al отличаются хорошей циклируемостью, что обусловлено умеренным изменением объема во время внедрения/экстракции ионов лития и надежным сцеплением с твердым электролитом LiPON. Аккумуляторы с литиевым анодом, сформированным in situ, перспективны с точки зрения высокой удельной энергоемкости, но имеют плохую циклируемость из-за отслоения верхнего токоотвода. Введение слоя Si@O@Al толщиной ~15 нм между LiPON и токоотводом позволяет сохранить высокую энергоемкость, характерную для литиевых анодов, и улучшить циклируемость.
- Ключевые слова
- тонкопленочный литий-ионный аккумулятор удельная емкость удельная энергия циклируемость
- Дата публикации
- 17.09.2025
- Год выхода
- 2025
- Всего подписок
- 0
- Всего просмотров
- 1
Библиография
- 1. Skundin, A., Kulova, T., Rudy, A., and Mironenko, A., All solid state thin-film lithium-ion batteries: materials, technology, and diagnostics. CRC Press, 2021, 201 p.
- 2. Xia, Q., Zan, F., Zhang, Q., Liu, W., Li, Q., He, Y., Hua, J., Liu, J., Xu, J., Wang, J., Wu, C., and Xia H., All‐solid‐state thin film lithium/lithium‐ion microbatteries for powering the Internet of things, Adv. Mater., 2023, vol. 35, p. 2200538. DOI: 10.1002/adma.202200538
- 3. Kuriyama, T., Suzuki, A., Okamoto, Y., Kimura, I., Morikawa, Y., and Mita, Y., A micromachined all-solid on-chip thin-film battery towards uninterruptible photovoltaic cells, 2018 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP). IEEE, 2018. p. 1. DOI: 10.1109/DTIP.2018.8394215
- 4. Kasemchainan, J. and Bruce, P.G., All-solid-state batteries and their remaining challenges, Johnson Matthey Technol. Rev., 2018, vol. 62, p. 177. DOI: 10.1595/205651318X696747
- 5. Wu, B., Chen, C., Danilov, D.L., Eichel, R.A., and Notten, P.H., All-solid-state thin film Li-ion batteries: New challenges, new materials, and new designs, Batteries, 2023, vol. 9, no. 3, p. 186. DOI: 10.3390/batteries9030186
- 6. Kerman, K., Luntz, A., Viswanathan, V., Chiang, Y.M., and Chen, Z., Practical challenges hindering the development of solid state Li-ion batteries, J. Electrochem. Soc., 2017, vol. 164, p. A1731. DOI: 10.1149/2.1571707jes
- 7. Bates, J.B., Dudney, N.J., Gruzalski, G.R., Zuhr, R.A., Choudhury, A., Luck, C.F., and Robertson, J.D., Electrical properties of amorphous lithium electrolyte thin films, Solid State Ionics, 1992, vol. 53‒56, p. 647. DOI: 10.1016/0167-2738(92)90442-R
- 8. Васильев, С.В., Геращенко, В.Н., Кулова, Т.Л., Лебедев, М.Е., Мазалецкий, Л.А., Метлицкая, А.В., Мироненко, А.А., Московский, С.Б., Никольская, Н.Ф., Пухов, Д.Э., Рудый, А.С., Скундин, А.М., Сологуб, В.А., Федоров, И.С., Чурилов, А.Б. Тонкопленочный положительный электрод на основе оксидов ванадия для литий-ионных аккумуляторов. Микроэлектроника. 2016. Т. 45. C. 363. DOI: 10.7868/S0544126916050112 [Vasil’ev, S.V., Gerashchenko, V.N., Kulova, T.L., Lebedev, M.E., Mazaletskii, L.A., Metlitskaya, A.V., Mironenko, A.A., Moskovskii, S.B., Nikol’skaya, N.F., Pukhov, D.E., Rudyi, A.S., Skundin, A.M., Sologub, V.A., Fedorov, I.S., and Churilov, A.B., Thin-film positive electrode based on vanadium oxides for lithium-ion accumulators, Russ. Microelectron., 2016, vol. 45, p. 335.] DOI: 10.1134/S1063739716050115
- 9. Julien, C.M. and Mauger, A., Review of 5-V electrodes for Li-ion batteries: status and trends, Ionics, 2013, vol. 19, p. 951. DOI 10.1007/s11581-013-0913-2
- 10. Dudney, N.J., West, W.C., and Nanda, J., Handbook of solid-state batteries: 2nd Edition. Eds. World Scientific, 2015. vol. 6, 822 p.
- 11. Phan, V.P., Pecquenard, B., and Le Cras, F., High‐performance all‐solid‐state cells fabricated with silicon electrodes, Adv. Funct. Mater., 2012, vol. 22, p. 2580. DOI: 10.1002/adfm.201200104
- 12. Pearse, A.J., Schmitt, T.E., Fuller, E.J., El-Gabaly, F., Lin, C.F., Gerasopoulos, K., Kozen, A.C., Talin, A.A., Rubloff, G., and Gregorczyk, K.E., Nanoscale solid state batteries enabled by thermal atomic layer deposition of a lithium polyphosphazene solid state electrolyte, Chem. Mater., 2017, vol. 29, p. 3740. DOI: 10.1021/acs.chemmater.7b00805
- 13. Mironenko, A.A., Fedorov, I.S., Rudy, A.S., Andreev, V.N., Gryzlov, D.Y., Kulova, T.L., and Skundin, A.M., Charge–discharge performances of the Si–O–Al electrodes, Monatsh. Chem., 2019, vol. 150, p. 1753. DOI: 10.1007/s00706-019-02497-1
- 14. Рудый, А.С., Мироненко, А.А., Наумов, В.В., Федоров, И.С., Скундин, А.М., Торцева, Ю.С. Тонкопленочные твердотельные литий-ионные аккумуляторы системы LiCoO 2 /LiPON/Si@O@Al. Микроэлектроника. 2021. Т. 50. С. 370. DOI: 10.31857/S0544126921050057 [Rudy, A.S., Mironenko, A.A., Naumov, V.V., Fedorov, I.S., Skundin, A.M., and Tortseva, Yu.S., Thin-Film Solid State Lithium-Ion Batteries of the LiCoO 2 /Lipon/Si@O@Al System, Russ. Microelectron., 2021, vol. 50, p. 333.] DOI: 10.1134/S106373972105005X
- 15. Neudecker, B.J., Dudney, N.J., and Bates, J.B., “Lithium-Free” thin-film battery with in situ plated Li anode, J. Electrochem. Soc., 2000, vol. 147, p. 517. DOI 10.1149/1.1393226
- 16. Yamamoto, T., Iwasaki, H., Suzuki, Y., Sakakura, M., Fujii, Y., Motoyama, M., and Iriyama, Y., A Li-free inverted-stack all-solid-state thin film battery using crystalline cathode material, Electrochem. Commun., 2019, vol. 105, p. 1. DOI: 10.1016/j.elecom.2019.106494
- 17. Lee, S.H., Liu, P., and Tracy, C.E., Lithium thin-film battery with a reversed structural configuration SS/Li/Lipon/ Li x V 2 O 5 /Cu, Electrochem. Solid-State Lett., 2003, vol. 6, p. A275. DOI: 10.1149/1.1623171
- 18. Xie, Z., Wu, Z., An, X., Yue, X., Wang, J., Abudula, A., and Guan, G., Anode-free rechargeable lithium metal batteries: Progress and prospects, Energy Storage Mater., 2020, vol. 32, p. 386. DOI: 10.1016/j.ensm.2020.07.004
- 19. Liu, S., Jiao, K., and Yan, J., Prospective strategies for extending long-term cycling performance of anode-free lithium metal batteries, Energy Storage Mater., 2023, vol. 54, p. 689. DOI: 10.1016/j.ensm.2022.11.021
- 20. Jo, C.-H., Sohn, K.-S., and Myung, S.-T., Feasible approaches for anode-free lithium-metal batteries as next generation energy storage systems, Energy Storage Mater., 2023, vol. 57, p. 471. DOI: 10.1016/j.ensm.2023.02.040
- 21. Bates, J.B., Dudney, N.J., Neudecker, B.J., Hart, F.X., Jun, H.P., and Hackney, S.A., Preferred orientation of polycrystalline LiCoO 2 films, J. Electrochem. Soc., 2000, vol. 147, p. 59. DOI 10.1149/1.1393157
- 22. Fleutot, B., Pecquenard, B., Martinez, H., Letellier, M., and Levasseur, A., Investigation of the local structure of LiPON thin films to better understand the role of nitrogen on their performance, Solid State Ionics, 2011, vol. 186, p. 29. DOI:10.1016/j.ssi.2011.01.006
- 23. Akimoto, J., Gotoh, Y., and Oosawa, Y., Synthesis and structure refinement of LiCoO 2 single crystals, Solid State Chem., 1998, vol. 141, p. 298. DOI: 10.1006/jssc.1998.7966
- 24. Reimers, J.N. and Dahn, J.R., Electrochemical and in situ X-ray diffraction studies of lithium intercalation in Li x CoO 2 , J. Electrochem. Soc., 1992, vol. 139, p. 2091. DOI 10.1149/1.2221184
- 25. Bates, J.B., Dudney, N.J., Neudecker, B., Ueda, A., and Evans, C.D., Thin-film lithium and lithium-ion batteries, Solid State Ionics, 2000, vol. 135, p. 33. DOI: 10.1016/S0167-2738(00)00327-1
- 26. Кулова, Т.Л., Скундин, А.М., Андреев, В.Н., Грызлов, Д.Ю., Мироненко, А.А., Рудый, А.С., Гусев, В.Н., Наумов, В.В. Исследование тонкопленочных электродов системы кремний-ку алюминий-кислород для литий-ионного аккумулятора. Электрохимическая энергетика. 2013. Т. 13. №. 3. С. 136. [Kulova, T.L., Skundin, A.M., Andreev, V.N., Gryzlov, D.Yu., Mironenko, A.A., Rudy, A.S., Gusev, V.N., and Naumov, V.V., A Study of thin-film electrodes of silicon‒aluminum‒oxygen system for lithium-ion battery, Elektrokhimicheskaya Energetika (in Russian) 2013, vol. 13, no. 3, p. 136.]
- 27. Liao, C.L. and Fung, K.Z., Lithium cobalt oxide cathode film prepared by rf sputtering, J. Power Sources, 2004, vol. 128, p. 263. DOI:10.1016/j.jpowsour.2003.09.065
- 28. Prachařová, J., Přidal, J., Bludska, J., Jakubec, I., Vorlı́ček, V., Malkova, Z., Makris, T.D., Giorgi, R., and Jastrabık, L., LiCoO 2 thin-film cathodes grown by RF sputtering, J. Power Sources, 2002, vol. 108, p. 204. DOI: 10.1016/S0378-7753(02)00018-6
- 29. Tintignac, S., Baddour-Hadjean, R., Pereira-Ramos, J.P., and Salot, R., High performance sputtered LiCoO 2 thin films obtained at a moderate annealing treatment combined to a bias effect, Electrochim. Acta, 2012, vol. 60, p. 121. DOI:10.1016/j.electacta.2011.11.033
- 30. Park, H.Y., Lee, S.R., Lee, Y.J., Cho, B.W., and Cho, W.I., Bias sputtering and characterization of LiCoO 2 thin film cathodes for thin film microbattery, Mater. Chem. Phys., 2005, vol. 93, p. 70. DOI: 10.1016/j.matchemphys.2005.02.024
- 31. Kuwata, N., Kumar, R., Toribami, K., Suzuki, T., Hattori, T., and Kawamura, J., Thin film lithium ion batteries prepared only by pulsed laser deposition, Solid State Ionics, 2006, vol. 177, p. 2827. DOI: 10.1016/j.ssi.2006.07.023
- 32. Iriyama, Y., Nishimoto, K., Yada, C., Abe, T., Ogumi, Z., and Kikuchi, K., Charge-transfer reaction at the lithium phosphorus oxynitride glass electrolyte/lithium manganese oxide thin-film interface and its stability on cycling, J. Electrochem. Soc., 2006, vol. 153, p. A821. DOI 10.1149/1.2178647
- 33. Liao, C.L., Lee, Y.H., and Fung, K.Z., The film growth and electrochemical properties of rf-sputtered LiCoO 2 thin films, J. Alloys Compd., 2007, vol. 436, p. 303. DOI: 10.1016/j.jallcom.2006.07.033
- 34. Кулова, Т.Л., Скундин, А.М., Андреев, В.Н., Грызлов, Д.Ю., Мироненко, А.А., Рудый, А.С., Гусев, В.Н., Наумов, В.В. Исследование тонкопленочных кремний-алюминиевых электродов, синтезированных в присутствии кислорода, методом циклической вольтамперометрии. Электрохимия. 2015. Т. 51. С. 1298. DOI: 10.7868/S0424857015120099 [Kulova, T.L., Skundin, A.M., Andreev, V.N., Gryzlov, D.Yu., Mironenko, A.A., Rudy, A.S., Gusev, V.N., and Naumov, V.V., Cyclic Voltammetry Studies of Silicon–Aluminum Thin-Film Electrodes Synthesized in the Presence of Oxygen, Russ. J. Electrochem., 2015, vol. 51, p. 1157.] DOI: 10.1134/S1023193515120095
- 35. Thackeray, M.M., Baker, S.D., Adendorff, K.T., and Goodenough, J.B., Lithium insertion into Co3O4: a preliminary investigation, Solid State Ionics, 1985, vol. 17, p. 175. DOI: 10.1016/0167-2738(85)90069-4
- 36. Lewis, J.A., Sandoval, S.E., Liu, Y., Nelson, D.L., Yoon, S.G., Wang, R., Zhao, Y., Tian, M., Shevchenko, P., Martínez-Pañeda, E., and McDowell, M.T., Accelerated Short Circuiting in Anode‐Free Solid‐State Batteries Driven by Local Lithium Depletion, Adv. Energy Mater., 2023, vol. 13, p. 2204186. DOI: 10.1002/aenm.202204186